适用于半导体制造的净室机器人解决方案

适用于半导体制造的净室机器人解决方案

电子工业半导体制造中的自动化适用于半导体制造的净室机器人解决方案适用于净室的 KUKA 技术和机器人符合半导体生产中对于纯净、清洁和功能的高要求。它们即便在非常短的周期时间内也能兼具高移动性与高精确度。

为半导体行业的严苛要求而设计：净室与安全性在 KUKA 极受重视。

针对净室，KUKA 专门提供了微粒少和排放低的机器人、协作机器人和平台，用于生产和安全地搬运高敏感的微电子元件。我们自己的生产也要在严苛的净室条件下完成。

KUKA 与系统合作伙伴一起，为半导体行业提供面向未来的工业 4.0 解决方案，通过协调软件和硬件满足联网与生产灵活性的要求。

全面投入到净室：KUKA 半导体机器人和移动协作机器人。

精准而敏捷的机器人符合高净室等级：经弗劳恩霍夫研究所特别认证更为安全。

发现适合您的任务的符合净室要求的运动系统：

LBR iiwa CR（负载能力7-14kg，协作机器人）

灵敏的 LBR iiwa 因其位置和柔韧性调节装置而特别适合搬运敏感的基板。

• 安全等级 3（证书）

• 作用范围：800 - 820 mm

• ISO 3 级

• 7 轴

• 控制系统 KUKA Sunrise Cabinet

高净度环境下的 KUKA LBR iiwa

KMR iiwa CR(负载能力 7-14 kg 机器人，负载能力 170 kg 平台，移动协作机器人)

KMR iiwa 适于装载工艺设备，且无需采取结构措施。

• 自主导航

• 全向

• 内置半标

• 准车队管理系统

• 可自由扩展的模块化系统

• 证书 (PDF)

  
  

不受地点限制、高度灵活的 KMR iiwa 为满足工业 4.0 的要求创造了理想条件。

KR AGILUS CR(负载能力 6-10 kg)

净室规格的 KR AGILUS 极其迅速且精确，是适合多种应用的“专家”，例如用于标线或晶片测试。

• 作用范围：706.7 - 1101 mm

• ISO 2 级

• 集成式拖链系统

• 专用的小型机器人控制器 KR C5 micro

• 证书 (PDF)

KR CYBERTECH CR(负载能力 20 kg) KR 20 R1810 CR

KR CYBERTECH 的镇定而精细的行驶特性注定其就是为搬运半导体设备而生

• 作用范围： 1810 mm

• ISO 等级： 5

• 修长的设计——节省空间的工作单元设计机器人

• 控制器 KR C5

• 证书 (PDF)